无尘室加湿系统

摘要

一种无尘室加湿系统，系由一外气空气箱引进一外部空气，再由一第一过滤装置对该外部空气进行过滤，接着由一降温装置对过滤后之空气进行一降温动作，紧接着由一除湿装置对降温后之空气内多余的水气进行一除湿动作，接续由一风扇装置将除湿后之空气分散在一无尘室内，由于该无尘室内会混合该除湿后之空气、制程排气和二氧化碳，再接续由一第二过滤装置将该混合之除湿后空气、制程排气和二氧化碳进行过滤后，产生一清净空气并送至该无尘室内，且在该无尘室内划分有复数区域，且由一加湿装置对该等区域进行一加湿动作，藉以达到调节湿度及节省能源之目的。

主权项

一种无尘室加湿系统，系应用于一无尘室，包括：一外气空调箱，系设置在该无尘室外部，以引进一外部空气；一第一过滤装置，系对该外部空气进行过滤；一降温装置，系对过滤后之空气进行一降温动作；一除湿装置，系对降温后之空气内多余的水气进行一除湿动作；一风扇装置，系将该除湿后之空气予以分散在该无尘室内；一第二过滤装置，系将该无尘室内之除湿后之空气、制程排气及二氧化碳进行过滤，产生一清净空气并送至该无尘室内；复数区域，系划分在该无尘室内；以及一加湿装置，系对该等区域进行一加湿动作。如申请专利范围第1项所述之无尘室加湿系统，其中该等区域内分别设有一感应单元，系分别感应该等区域内之湿度是否足够，以产生一湿度不足讯号。如申请专利范围第2项所述之无尘室加湿系统，其中该加湿装置，系接收到该湿度不足讯号后，对该等区域之其中一区域进行该加湿动作。如申请专利范围第1项所述之无尘室加湿系统，其中该制程排气，系为置放在该无尘室内之制程设备于运转时所排放之。