| 主权项 |
一种具备冷却循环通路之基板搬运用机器人之驱动装置，前述基板搬运用机器人系于真空环境下收容有机械臂群者，其特征在于：使前述机械臂群旋转驱动之驱动装置系跨越大气侧与真空侧配置，同时于大气侧进行驱动；该驱动装置于固定构件与输出构件之间装设有真空密封垫；进而，在该固定构件与该输出构件之间，于该真空密封垫之大气侧具备油封；在该固定构件与输出构件之间，进而装设将藉由真空密封垫与油封形成之环状空间一分为二之密封垫；且分别于前述固定构件上设置自大气侧通向被二分之一侧之环状空间的冷却循环通路之供给口及自被二分之另一侧之环状空间通向大气侧之冷却循环通路之排出口；于前述输出构件上设置与被二分之一侧之环状空间连接之旋转供给通路及与被二分之另一侧之环状空间连接之旋转排出通路；该旋转供给通路与该旋转排出通路向机械臂构件开放，冷却该机械臂构件。如请求项1之基板搬运用机器人之驱动装置，其中前述一侧之环状空间系真空侧之环状空间，前述另一侧之环状空间系大气侧之环状空间。如请求项1之基板搬运用机器人之驱动装置，其中进而具备驱动马达、以经由前述真空密封垫接触于轴箱之内周侧之状态被收容之输出传动轴、及降低前述驱动马达之输出旋转之转速并向前述输出传动轴传导之减速机；前述减速机具备外齿轮构件、插入前述外齿轮构件之孔之凸轮轴、及其内周与前述外齿轮构件之外周啮合之内齿轮构件。如请求项3之基板搬运用机器人之驱动装置，其中前述固定构件系前述轴箱与前述内齿轮构件结为一体；前述输出构件包含前述输出传动轴。如请求项1之基板搬运用机器人之驱动装置，其中前述真空密封垫具有与前述输出构件外周接触之主端缘、向主端缘施加接触力之弹性构件、及嵌合部。 |
