| 发明名称 |
PROCEDE DE TRAITEMENT PAR ELECTROEROSION D'UNE SURFACE D'UN ELEMENT EN SILICIUM ET PLAQUE DE SILICIUM OBTENUE GRACE A UN TEL TRAITEMENT |
| 摘要 |
Procédé de traitement d'une surface d'un élément en silicium comprenant une étape d'enlèvement de matière par électroérosion au niveau de la surface.
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| 申请公布号 |
FR2972659(A1) |
申请公布日期 |
2012.09.21 |
| 申请号 |
FR20110052250 |
申请日期 |
2011.03.18 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
COUSTIER FABRICE;PIHAN ETIENNE |
| 分类号 |
B23H5/00 |
主分类号 |
B23H5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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