Sauerstoffdetektionsverfahren, Luftleckbestimmungsverfahren,Gaskomponentendetektionsgerät und Vakuumverarbeitungsvorrichtung

摘要

Ein Sauerstoffdetektionsverfahren beinhaltet: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffängers (103), und eines Glühfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberfläche ausgebildet ist; Steuern eines zu dem Glühfaden (101) fließenden Glühfadenstroms, so dass ein Emissionsstrom konstant wird; Abgeben von durch Wärmeerzeugung verursachten thermionischen Elektronen durch Anlegen des Glühfadenstroms, und Erzeugen von Ionen durch Ionisieren eines Gases; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffänger (103); und Detektieren von in einer Vakuumverarbeitungskammer vorhandenem Sauerstoff durch Messen eines Glühfadenstromwerts.