发明名称 |
HALBLEITERSTÜCKVERBINDUNGSÜBERWACHUNGSSYSTEM UND -VERFAHREN |
摘要 |
Ein System zum Überwachen einer Halbleiterstückverbindung umfasst ein mit einem Substrat verbundenes Halbleiterstück und eine mit einer Überwachungskontaktstelle des Halbleiterstücks gekoppelte Verbindungsindikatorschaltung. Die Verbindungsindikatorschaltung ist dazu konfiguriert, einen Verbindungsausfall der Überwachungskontaktstelle zu erfassen. Ein Signal das der Überwachungskontaktstelle des Halbleiterstücks entspricht, wird überwacht, und ansprechend auf eine Änderung des überwachten Signals wird eine Angabe eines Kontaktstellenverbindungsausfalls, der der Überwachungskontaktstelle zugeordnet ist, geliefert. |
申请公布号 |
DE112009004562(T5) |
申请公布日期 |
2012.09.20 |
申请号 |
DE20091104562T |
申请日期 |
2009.04.30 |
申请人 |
HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. |
发明人 |
SYLVESTER, JEFFRY S.;HODGE, RICHARD H. |
分类号 |
H01L21/66;H01L23/48 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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