| 摘要 |
<p>Vorrichtung (100) und Verfahren zum aufeinanderfolgenden Zerstäubungsabscheiden eines Target-Quellenmaterials (114) als ein Dünnfilm auf einem Substrat (12) eines photovoltaischen Moduls werden bereitgestellt. Die Vorrichtung (100) schließt eine erste Zerstäubungs-Abscheidungskammer (112) und eine zweite Zerstäubungs-Abscheidungskammer (128) ein, die integral derart verbunden sind, dass die durch die Vorrichtung (100) transportierten Substrate bei einem Systemdruck gehalten werden, der geringer als etwa (760) Torr ist. Die Lastvakuumkammer (106) ist mit einer Lastvakuumpumpe (108) verbunden, die konfiguriert ist, den Druck innerhalb der Lastvakuumkammer (106) zu einem anfänglichen Lastdruck zu vermindern. Die erste Zerstäubungs-Abscheidungskammer (112) schließt ein erstes Target (114) und die zweite Zerstäubungs-Abscheidungskammer (128) schließt ein zweites Target 114 ein. Ein Förderbandsystem (162) ist operativ innerhalb der Vorrichtung (100) angeordnet und konfiguriert zum Transportieren von Substraten in einer Reihenanordnung in und durch die Lastvakuumkammer (106), in und durch die erste Zerstäubungs-Abscheidungskammer (112) und in und durch die zweite Zerstäubungs-Abscheidungskammer (128) mit einer geregelten Geschwindigkeit.</p> |
