基板上隔垫物制造方法

摘要

本发明公开了一种隔垫物制造方法，包括：在基板上涂布一层光刻胶，放入烤箱烘烤，烤箱中设有冷却触点，冷却触点温度低于烘烤温度，冷却触点接触光刻胶，一段时间后冷却触点移走，光刻胶在与冷却触点接触的位置形成突起；将基板移出烤箱，对基板上的光刻胶进行无掩膜板的低曝光量曝光和显影，以去除突起以外的光刻胶，基板上保留的突起即为隔垫物。本发明提供一定的温度差在正性光刻胶表面，形成表面张力梯度，使光刻胶向形成隔垫物的区域流动，该区域膜厚增大，其他部位膜厚变小，再经低曝光量曝光、显影后得到隔垫物图形，无需使用掩膜板，降低成本；节省了量产中掩膜板对位时间，提高生产效率；避免了掩膜板对位不精确造成的不良，提高良品率。

主权项

一种基板上隔垫物制造方法，其特征在于，包括以下过程：在基板上涂布一层光刻胶，放入烤箱烘烤，所述烤箱中设有冷却触点，所述冷却触点的温度低于烘烤温度，冷却触点接触光刻胶，一段时间后将冷却触点移走，继续进行烘烤，光刻胶在与冷却触点接触的位置形成突起；将基板移出烤箱，对基板上的光刻胶进行无掩膜板的低曝光量曝光和显影，以去除突起以外的光刻胶，基板上保留的突起即为隔垫物。