发明名称 无压浸渗法制备SiC/Al电子封装材料的工艺
摘要 本发明涉及一种无压浸渗法制备SiC/Al电子封装材料的工艺,按质量配比在6~9:0.5~2:0.5~2范围内称取粒径分别为140-170μm、15-70μm、14-17μm的碳化硅颗粒,加入粘结剂、增塑剂、润滑剂和溶剂混匀,压制成型后预热处理并烧结,然后在Al-Mg-Si合金熔体中浸渗。采用三种粒径制备的三颗粒SiC/Al复合材料的热物理性能和力学性能整体上比双颗粒SiC/Al复合材料好,热膨胀系数在(7.92-9.71)×10-6K-1之间变化、热导率在(140-159)W/mK之间变化和抗弯强度300-337MPa之间变化。
申请公布号 CN102676901A 申请公布日期 2012.09.19
申请号 CN201210165260.5 申请日期 2012.05.25
申请人 山东大学 发明人 陈传忠;何青山;王佃刚
分类号 C22C29/06(2006.01)I;C22C1/10(2006.01)I 主分类号 C22C29/06(2006.01)I
代理机构 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人 杨琪
主权项 无压浸渗法制备SiC/Al电子封装材料的工艺,其特征是,包括步骤如下:(1)按质量配比在6~9:0.5~3:0.5~2范围内称取粒径分别为124‑178μm、15‑74μm、11‑19μm的碳化硅颗粒;(2)将碳化硅颗粒混合放入球磨机球磨混合均匀,然后加入粘结剂、增塑剂、润滑剂和溶剂混匀,粘结剂、增塑剂、润滑剂和溶剂加入量为碳化硅总重量的0.5%‑3%;(3)将混合物导入模具中压制成型;(4)将成型混合物加热到500‑550℃保温1‑1.2小时,再升温至1050‑1250℃保温0.5‑4小时得SiC预制件;(5)将Al‑Mg‑Si合金熔化成熔体,将预制件浸入其中,在1050‑1150℃浸渗0.5‑4小时,冷却。
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