一种超薄玻璃强化方法

摘要

本发明公开一种低能耗，生产效率高，可在自动流水线上作业的超薄玻璃强化方法，将超薄玻璃放入温度为150-250℃，气压100-1000Pa的真空反应腔内，通入前驱气体，直至反应腔内前驱气体气压达到100-2000Pa，再通入水蒸汽直至反应腔内水蒸气气压达到500-2000Pa，然后将未反应的前驱气体、水蒸汽及反应产生的气体产物泵出反应腔，使反应腔压力回歸100-1000Pa，完成一个操作周期，重复操作1—5个操作周期，得到超薄强化玻璃。

主权项

一种超薄玻璃强化方法，其特征在于，将超薄玻璃放入温度为150—250℃，气压100—1000Pa的真空反应腔内，通入前驱气体，直至反应腔内前驱气体气压达到100—2000Pa，再通入水蒸汽直至反应腔内水蒸气气压达到100—2000Pa，然后将未反应的前驱气体、水蒸汽及反应产生的气体产物泵出反应腔，使反应腔压力回歸100—1000Pa，完成一个操作周期，重复操作1—5个操作周期，得到超薄强化玻璃；所述前驱气体是三甲基铝、三乙基铝、三甲基镓或三乙基镓经加热汽化形成的气体。