压电驱动器的标定装置

摘要

本发明涉及一种压电驱动器的标定装置，其特征在于：包括光源，所述光源的出射光沿光路的方向上依次设有光纤Ⅰ、凸透镜A及分光镜，所述分光镜一侧出射端设有参考镜，所述分光镜另一侧出射端设有待测压电驱动器，所述待测压电驱动器与一幅值可调的直流电源相连接，所述分光镜的出射端设有凸透镜B，所述凸透镜B经光纤Ⅱ连接至宽带光谱仪，所述宽带光谱仪与带有数据采集和处理的电脑相连，该装置通过改变施加在压电驱动器上的电压从而直接测量其位移的方法，可以实现纳米级或微米级的高精度检测。

主权项

一种压电驱动器的标定装置，其特征在于：包括光源，所述光源的出射光沿光路的方向上依次设有光纤Ⅰ、凸透镜A及分光镜，所述分光镜一侧出射端设有参考镜，所述分光镜另一侧出射端设有待测压电驱动器，所述待测压电驱动器与一幅值可调的直流电源相连接，所述分光镜的出射端设有凸透镜B，所述凸透镜B经光纤Ⅱ连接至宽带光谱仪，所述宽带光谱仪与带有数据采集和处理的电脑相连。