接触式测量装置

摘要

本发明公开一种接触式测量装置，其包括测量端子及至少一个用于驱动该测量端子的驱动气缸，该测量端子接触被测量物表面进行测量，该接触式测量装置还包括偶数个气体导管，其以该驱动气缸轴线为中心对称分布，通过该气体导管给该驱动气缸提供驱动气体，该气体导管的延伸方向与该驱动气缸轴线的夹角大于0度且小于90度，且向该驱动气体作用于该驱动气缸的外侧壁上，从而推动该驱动气缸带动测量端子沿该驱动气缸的轴向运动，并该驱动气缸的外侧壁周围形成气体轴承。

主权项

一种接触式测量装置，其包括测量端子及至少一个用于驱动该测量端子的驱动气缸，该测量端子接触被测量物表面进行测量，其特征在于：该接触式测量装置还包括偶数个气体导管，其以该驱动气缸轴线为中心对称分布，通过该气体导管给该驱动气缸提供驱动气体，该气体导管的延伸方向与该驱动气缸轴线的夹角大于0度且小于90度，且向该驱动气体作用于该驱动气缸的外侧壁上，从而推动该驱动气缸带动测量端子沿该驱动气缸的轴向运动，并该驱动气缸的外侧壁周围形成气体轴承。