发明名称 Boron doped shell for MEMS device
摘要
申请公布号 EP2019081(A3) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 EP20080160924 申请日期 2008.07.22
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 DETRY, JAMES F.
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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