摇动质量块压电双轴微陀螺

摘要

本发明涉及一种微机电技术领域的摇动质量块压电双轴微陀螺，它包括一个摇动质量块谐振子，支撑摇动质量块的基板，四个与基板边方向平行且具有间隙的驱动电极，四个与基板边方向平行检测电极。本发明利用摇动质量块谐振子的特殊振动模态，采用逆压电效应驱动，通过检测压电电极上的电压变化来检测两个基板面内方向的角速度，最后通过外围调解处理电路，得到基板面内两个方向的输入角速度。本发明采用MEMS微细加工工艺，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高。

主权项

一种压电驱动压电检测双轴微陀螺仪，其特征在于包括：一个具有摇动质量块的谐振子，通过基板支撑；四个与基板边平行的驱动电极；以及四个与基板边平行的检测电极；所述摇动质量块的材料为金属，基板的材料为PZT压电材料。