发明名称 用于薄的面形的基片的保持装置
摘要 一种用于电路板的保持装置构造成框架式的并且带有布置在两个位于外部的纵向侧处的输送滑块以用于输送保持装置,其中,在输送滑块之间布置有用于基片的保持装置的保持框架。保持框架以高度可变的方式支承在输送滑块处,并且因此在处理时可降下或抬起夹紧在其中的基片。
申请公布号 CN102668056A 申请公布日期 2012.09.12
申请号 CN201080046854.3 申请日期 2010.09.28
申请人 吉布尔·施密德有限责任公司 发明人 B·林克;T·戴特林
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 肖日松;杨国治
主权项 一种用于薄的面形的基片的保持装置,其中,所述保持装置构造成框架式的并且带有布置在两个位于外部的纵向侧处的输送滑块以用于输送所述保持装置穿过连续式通过设备或类似者,其中,在所述输送滑块之间布置有用于所述基片的保持装置的保持框架,其特征在于,所述保持框架以高度可变的方式支承在所述输送滑块处。
地址 德国弗罗伊登斯塔特