发明名称 |
宽光谱陷光氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 |
摘要 |
一种薄膜太阳电池用宽光谱陷光氧化锌透明导电薄膜及其制备方法。该方法利用对沉积薄膜工艺过程的有效调控,实现宽光谱陷光ZnO薄膜的制备。首先在衬底上沉积ZnO薄膜,经过湿法腐蚀工艺处理后得到具有对长波光起陷光作用的大“弹坑状”的陷光绒面层;随后在其上再次生长ZnO薄膜,再经过湿法腐蚀工艺处理后得到对短波光起陷光作用的兼有小“弹坑状”的陷光绒面层,最后形成具有宽光谱陷光的氧化锌透明导电薄膜材料。本发明所述氧化锌为掺杂半导体,如ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:B、ZnO:Mo、ZnO:W,n型半导体材料,可应用于非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜的单结及多结太阳电池。 |
申请公布号 |
CN102664198A |
申请公布日期 |
2012.09.12 |
申请号 |
CN201210148419.2 |
申请日期 |
2012.05.15 |
申请人 |
南开大学 |
发明人 |
张晓丹;王延峰;赵颖;黄茜;魏长春 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 |
代理人 |
侯力 |
主权项 |
一种薄膜太阳电池用宽光谱陷光氧化锌透明导电薄膜,其特征在于该导电薄膜依次包括:衬底层、对入射的长波长光起陷光作用的大“弹坑状”的陷光绒面层简称长波长陷光绒面层,以及对入射的短波长光起陷光作用的小“弹坑状”的陷光绒面层简称短波长陷光绒面层;长波长陷光绒面层:是在衬底层上一次沉积和一次湿法腐蚀处理后得到的具有大“弹坑状”的陷光ZnO薄膜,所述的大“弹坑状”为微米级尺寸;短波长陷光绒面层:是在大“弹坑状”的散射层上二次沉积和二次湿法腐蚀处理后得到的小“弹坑状”的陷光ZnO薄膜,所述的小“弹坑状”为纳米级尺寸。 |
地址 |
300071 天津市南开区卫津路94号 |