门阀

摘要

本发明涉及一种门阀，其通过具备控制开闭部件的朝上下方向的移动的上下动作驱动器和，控制朝前后方向的移动的前后退驱动器，使打开或关闭晶片的移动通道的开闭部件正确的以“L”字形动作，这是本发明的优点。

主权项

一种门阀，其特征在于，包括：开闭部件(100)，用于打开或关闭半导体晶片的移动通道；前后退驱动器(200)，包括：第一气缸(210)，设于所述开闭部件(100)的背面，在内部后侧形成有第一流路(1)，在前侧形成有第二流路(2)，在正面形成有盖子(221)；第一活塞(220)，设置在所述第一气缸(210)的内部，通过流入到所述第一流路(1)和第二流路(2)的压缩空气进行前后动作；连接部件(B)，用于连接所述第一活塞(220)和开闭部件(100)，上下动作驱动器(300)，包括：多个第二气缸(310)，形成在所述上下动作驱动器的内部；第二活塞(320)，设置在所述第二气缸(310)的内部，通过压缩空气进行上下动作；上下轴(330)，其一侧连接在所述第二活塞(320)，另一侧连接在所述前后退驱动器(200)，在内部流动压缩空气，形成有与所述第一流路(1)连通的第三流路(3)以及与所述第二流路(2)连通的第四流路(4)；第一压缩空气流入孔(340)，在所述开闭部件(100)封闭晶片的移动通道时用于流入压缩空气；第五流路(5)，其从所述第一压缩空气流入孔(340)连接到所述第二气缸(310)的下部以使所述第二活塞(320)通过从所述第一压缩空气流入孔(340)流入的压缩空气进行上下移动；第六流路(6)，设有安全阀(R1)和止回阀(C1)，当所述第二活塞(320)通过流入到所述第五流路(5)的压缩空气到达上死点时，所述安全阀(R1)被选择性地打开，当所述第二活塞(320)到达下死点时，所述止回阀(C1)被选择性地打开，在所述安全阀(R1)被打开时，为了使压缩空气移动到所述第一流路(1)，所述第六流路(6)与所述第一压缩空气流入孔(340)和第五流路(5)及第一流路(1)连通。