低温泵

摘要

本发明提供一种可以防止在面板表面发生的凝缩体的剥离，保持稳定的排气动作的低温泵。本发明的实施方式涉及的低温泵(30)具有由冷冻机(32)冷却的低温面板(31)。所述低温面板的凝缩面(310)由边界部(沟部(310b))划分为多个独立的分割面(310a)。因此，某处分割面上产生裂纹时，通过边界部抑制裂纹向相邻的其他分割面的传播，从而可以使裂纹的产生区域停留于该分割面内。另外，凝缩面上的凝缩体的内部应力通过分散于各分割面而得到缓和，从而阻止分割面上的凝缩体的剥离。由此，可以防止由于凝缩体从凝缩面上的剥离及之后的再次凝缩所导致的真空室内的压力波动，并保持稳定的排气压力。

主权项

一种用于将真空室排气至目标压力的低温泵，其特征在于，包括：面板，具有使所述真空室内的需排气体凝缩的凝缩面，和形成于所述凝缩面上、将所述凝缩面划分为多个独立的分割面的边界部；以及冷冻机，可将所述面板冷却至所述目标压力下的所述气体的露点以下。