生产黄铜矿型太阳能电池的方法

摘要

本发明涉及一种生产黄铜矿型太阳能电池(10)的方法。该黄铜矿型太阳能电池(10)具有通过硒化Cu-In-Ga合金层(26)形成的光吸收层(16)。合金层(26)通过只使用Cu-In-Ga合金靶(CIG靶)(24)进行溅射形成在第一电极层(14)上。

主权项

一种生产具有至少光吸收层(16)的黄铜矿型太阳能电池(10)的方法，该光吸收层(16)含有黄铜矿型化合物，所述光吸收层(16)插置在第一电极层(14)和第二电极层(20)之间，电极层(14，20)在基底(12)的表面上侧形成，所述方法包括以下步骤：通过使用Cu‑In‑Ga合金靶(24)进行溅射在第一电极层(14)上形成Cu‑In‑Ga合金层(26)，和使Cu‑In‑Ga合金层(26)经受硒化处理，从而转化Cu‑In‑Ga合金成为黄铜矿型化合物，以获得光吸收层(16)，其中，所述Cu‑In‑Ga合金靶(24)具有满足以下不等式(1)和(2)的Cu‑In‑Ga组成：0.7≤Cu/(In+Ga)≤0.99        ...(1)0.4≤Ga/(In+Ga)≤0.7         ...(2)。