光敏性化合物、光敏性组成物、形成光阻图案的方法、及使用彼来制造装置的方法

摘要

本发明系关于一种光敏性化合物，其一个分子具有二或多个下列通式(1)所示之结构单元：;(1);其中R1至R5系选自氢原子、卤素原子、烷基、烷氧基、乙醯氧基、苯基、萘基、及部份或所有之氢原子经氟原子取代的烷基；及X为经取代或未经取代之伸苯基或经取代或未经取代之伸萘基。