发明名称 半导体元件的测试方法与系统
摘要 一种半导体元件的测试方法,系提供至少一半导体元件,而半导体元件上具有复数个单元,每个单元皆有各自单元状态;接着进行半导体元件的测试,根据测试结果定义半导体元件的边界单元,边界单元状态与预先设定值进行比较,决定是否发出讯息,用以提示操作人员可能有地图偏移的情形
申请公布号 TWI372432 申请公布日期 2012.09.11
申请号 TW096149075 申请日期 2007.12.20
申请人 京元电子股份有限公司 新竹市公道五路2段81号 发明人 李明聪
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 陈培道 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室;庄婷聿 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室
主权项
地址 新竹市公道五路2段81号