电浆制程设备

摘要

一种电浆制程设备，包括一加载互锁真空室、一传送室以及一开口阀。传送室与加载互锁真空室分离安置，开口阀连结于加载互锁真空室的一边。其中，开口阀包括一阀箱、一叶片、一致动器以及一拴锁单元。阀箱的两边面处都至少具有一开口，叶片装配于阀箱中以开启及关闭任一边面处之开口，致动器提供一驱动力以开启及关闭叶片，拴锁单元连结致动器并防止叶片在保养工作期间开启及关闭之运作。