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发明名称 APPARATUS FOR LOW TEMPERATURE SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 KR101182072(B1) 申请公布日期 2012.09.11
申请号 KR20067005321 申请日期 2004.09.10
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;H01J37/304;H01J37/317 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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