发明名称 CHARGED-PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND CHARGED-PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101180542(B1) 申请公布日期 2012.09.06
申请号 KR20100089718 申请日期 2010.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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