基于四极杆质谱的稀有气体测定系统

摘要

本产品发明公开一种基于四极杆质谱的稀有气体测定系统。该系统的激光样品室经阀B与第一四通管的第一端口相连，第一四通管的第二端口经阀D与第一杂质吸收器相连、第三端口经阀G与第一三通管的第一端口相连，第四端口顺序连分子真空泵和机械泵，在分子真空泵和第一四通管的第四端口之间安有真空计，在阀G与第一四通管的第三端口之间连有稀有气体标准罐，第一三通管的第二端口经阀J与离子泵相连，第三端口顺序连接第二杂质吸收器和四极杆质谱，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连，在构件之间的连接管道外表面装有电加热带。本产品发明能在确保相同精度和准确度的前提下，实现稀有气体质谱分析，具有成本低、性价比高的优点。

主权项

一种基于四极杆质谱的稀有气体测定系统，其特征在于：包括构件：激光样品室(12)、分子真空泵(8)、机械泵(9)、真空计(7)、第一杂质吸收器(6)、第二杂质吸收器(2)、稀有气体标准罐、离子泵(1)、四极杆质谱(3)、第一四通管(31)和第一三通管(21)，通过连接管道：所述的激光样品室(12)经阀B与第一四通管(31)的第一端口相连，第一四通管(31)的第二端口经阀D与第一杂质吸收器(6)相连、第三端口经阀G与第一三通管(21)的第一端口相连，第四端口顺序连有分子真空泵(8)和机械泵(9)，在分子真空泵(8)和第一四通管(31)的第四端口连接管道之间安有真空计(7)，在阀G与第一四通管(31)的第三端口之间的连接管道上连有稀有气体标准罐，第一三通管(21)的第二端口经阀J与离子泵(1)相连，第三端口顺序连接第二杂质吸收器(2)和四极杆质谱(3)，上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连。