一种具有检测装置的磁控溅射靶

摘要

本实用新型涉及一种具有检测装置的磁控溅射靶，应用于薄膜太阳能电池低温沉积导电膜层，属于太阳能磁控溅射技术领域。其特征是靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。本实用新型靶材底部预埋了导线，当靶材将要耗尽时其底部的导线切断报警，克服了传统方法判定靶材是否耗尽的不确定性，提高了靶材利用率，保证了镀膜质量。

主权项

一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括靶、靶座、水冷背板以及检测装置，所述靶和水冷背板固定在靶座上，位于真空腔体内，其特征在于所述靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。