基于干涉原理的透镜中心误差测量系统

摘要

一种基于干涉原理的透镜中心误差测量系统，包括：激光器、准直镜、起偏器、分光棱镜、分光镜、第一λ/4波片、参考反射镜、上可调反射镜、下可调反射镜、下固定反射镜、上固定反射镜、第二λ/4波片、检偏器、成像镜头、CCD相机、计算机及精密回转工作台。本发明能够同时对球面和轴对称非球面透镜前后表面中心误差进行测量，测量效率高，且操作简单，不会降低干涉条纹的对比度。

主权项

一种基于干涉原理的透镜中心误差测量系统，其特征在于包括：激光器（1）、准直镜（2）、起偏器（3）、分光棱镜（4）、分光镜（5）、第一λ/4波片（6）、参考反射镜（7）、上可调反射镜（8）、下可调反射镜（9）、下固定反射镜（10）、上固定反射镜（11）、第二λ/4波片（12）、检偏器（13）、成像镜头（14）、CCD相机（15）、计算机（16）、精密回转工作台（17）及被测透镜（18）；激光器（1）发出的激光束经准直镜（2）扩束后，由起偏器（3）将出射激光束转变为平面偏振光，分光棱镜（4）将入射的平面偏振光分成两束平行光束；上述两束平行光束经分光镜（5）被分为参考光束与测量光束，前述参考光束经第一λ/4波片（6）后入射到参考反射镜（7）上，被参考反射镜反射，参考光束两次通过第一λ/4波片（6）后偏振方向改变90°；所述测量光束经第二λ/4波片（12）后，通过上固定反射镜（11）水平入射到上可调反射镜（8）上，然后调整上可调反射镜（8）使得上测量光束垂直入射到被测透镜（18）的上表面并沿原路返回，上测量光束两次通过第二λ/4波片（12）后偏振方向改变90°，并与所述参考光束汇合并发生干涉；下测量光束经第二λ/4波片（12）后，通过下固定反射镜（10）水平入射到下可调反射镜（9）上，然后调整下可调反射镜（9）使得下测量光束垂直入射到被测透镜的下表面并沿原路返回，下测量光束两次通过第二λ/4波片（12）后偏振方向改变90°，并与所述参考光束汇合并发生干涉，前述两组干涉光束经检偏器（13）后分别得到两组干涉条纹；经过成像镜头（14）成像后，干涉条纹被CCD相机（15）接收，然后转动精密回转工作台（17），通过观察计算机（16）显示和记录CCD相机（15）接收的干涉条纹的变化，并且计算机（16）计算得出被测透镜前后表面中心误差的测量结果。