发明名称 |
清针片 |
摘要 |
本实用新型公开了一种清针片,该清针片上划分有多个区域,每个区域贴有一种用于清洗不同材质探针的清针贴纸,且每个区域的面积不小于探针卡上对应探针所覆盖的区域面积。本实用新型通过将清针片划分为不同的区域,贴上清洗不同材质探针所需的清针贴纸,使晶圆量产测试时,不同材质探针的清洗可以在同一片清针片上进行,从而有效提升了测试的效率,减少了清针片的使用数量,降低了测试成本。 |
申请公布号 |
CN202421389U |
申请公布日期 |
2012.09.05 |
申请号 |
CN201120544262.6 |
申请日期 |
2011.12.22 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
桑浚之;谢晋春 |
分类号 |
G01R31/01(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/01(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
刘昌荣 |
主权项 |
一种清针片,其特征在于,该清针片上划分有多个区域,每个区域贴有一种用于清洗不同材质探针的清针贴纸,且每个区域的面积不小于探针卡上对应探针所覆盖的区域面积。 |
地址 |
201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |