| 发明名称 | 一种用于CVD工艺中具有新型结构的喷淋头 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于CVD工艺中具有新型结构的喷淋头，所述的喷淋头具有大量以二维六角阵列排列的喷淋孔，由于六角阵列排列比传统的四角阵列排列具有更高的密度，由此喷淋头喷淋的外延片具有更高的均匀性，可以大大的提高所得器件的良率。此实用新型制作工艺简单，效果良好，适用于工业生产。 | ||
| 申请公布号 | CN202415686U | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201120542763.0 | 申请日期 | 2011.12.22 |
| 申请人 | 上海蓝光科技有限公司 | 发明人 | 周健华;邢志刚;陈耀;彭昀鹏;潘尧波;郝茂盛 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
| 主权项 | 一种用于CVD工艺中具有新型结构的喷淋头，其特征在于：所述喷淋头具有大量以二维六角阵列排列的喷淋孔。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区芳春路400号 | ||