光学成像写入系统

摘要

本发明涉及一种在光刻制程中将光掩膜数据图案施用于基板的系统及方法。在一个实施例中，该方法包含下列步骤：提供具有复数个空间光调制器(SLM)成像单元的平行成像写入系统，其中该SLM成像单元排列成一个或多个平行阵列；接收待写入基板的光掩膜数据图案；处理该光掩膜数据图案，以形成复数个对应于基板不同区域的分区光掩膜数据图案；辨识出基板上一个区域中待受对应SLM成像的对象；沿该对象的边缘选择评估点；配置该平行成像写入系统使其利用该评估点成像该对象；以及藉由控制该SLM将该分区光掩膜数据图案平行写入，而执行多重曝光以将该对象成像于基板的该区域中。

主权项

一种在光刻制程中处理影像数据的方法，包含下列步骤：提供平行成像写入系统，其中该平行成像写入系统包含复数个空间光调制器(SLM)成像单元，且该SLM成像单元排列成一个或多个平行阵列；接收待写入基板的光掩膜数据图案；处理该光掩膜数据图案，以形成复数个对应于该基板不同区域的分区光掩膜数据图案；辨识出基板上一个区域中一个或多个待受对应SLM成像的对象；沿该对象的边缘选择评估点；配置该平行成像写入系统使其利用该评估点成像该对象；以及藉由控制该等SLM将该等分区光掩膜数据图案平行写入，而执行多重曝光以将该对象成像于基板的该区域中。