微细结构体检测装置以及微细结构体检测方法

摘要

本发明涉及一种微细结构体检测装置以及微细结构体检测方法。测量微细结构体的可动部的衰减特性值的微细结构体检测装置(10)包括：不与所述微细结构体直接接触的压力波产生装置(1)以及脉冲产生装置(2)、不与所述可动部接触并且在可动部开始自由振动之后的预定时间的期间内测量可动部的位移的位移计(4)。压力波产生装置(1)由热激励式的声波产生元件、压电式的声波产生元件或者电磁式的振动元件构成，并被脉冲产生装置(2)的脉冲信号驱动。优选的是，使用了热激励式的声波产生元件的压力波产生装置(1)包括：热传导性的衬底；在该衬底的一个主面上用纳米晶体硅形成的隔热层；形成在该隔热层之上的绝缘体层；以及导体层，其形成在该绝缘体层之上，并且被施加包含交流分量的电流而发热。

主权项

一种对微细结构体的可动部施加冲击的冲击单元，其特征在于，所述冲击单元包括热激励式的声波产生元件和对所述声波产生元件输入具有预定时间宽度的脉冲信号的驱动单元，所述热激励式的声波产生元件包括：热传导性的衬底；在该衬底的一个主面上用纳米晶体硅形成的隔热层；形成在该隔热层之上的通过CVD形成的绝缘体层；以及导体层，其形成在该绝缘体层之上，并且被施加包含交流分量的电流而发热。