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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device including vertical channel transistor
摘要
申请公布号 KR101179193(B1) 申请公布日期 2012.09.03
申请号 KR20070126874 申请日期 2007.12.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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