使用干涉及无遮罩曝照单元之微影装置及元件制造方法

摘要

一种微影系统结合一干涉曝照单元及一微影单元。该微影单元可包含一可个别控制元件阵列。该微影系统可经配置以致使由该干涉曝照单元曝照之复数条线之一间距系与一单一可个别控制元件相对应之该微影单元的一曝照区尺寸的整数倍。