| 摘要 |
在被保持于真空容器(3)内的基板(5)下方，具备：在被保持于真空容器(3)内的罩幕上方，经由插通形成于真空容器的上壁面的安装用板(1a)的贯通穴(1b)的吊持构件(11)所保持的罩幕保持具(7)，及设于真空容器的外部而被连接于吊持构件的连结用板(12)，及移动该连结用板而可调整蒸镀室(2)内罩幕(8)对于基板(5)的位置的位置调整装置，及外嵌于保持构件，而且设于安装用板的贯通穴(1b)的外周与连结用板之间而进行遮断真空侧与大气侧的伸缩式筒状遮断构件(14)，及与藉由该筒状遮断构件内侧成为真空状态所发生的对于连结用板的推压力发生反方向的弹推力的弹推装置(15)。 |
