成膜装置及成膜方法

摘要

本发明旨在提供一种能快速、均匀地成膜，避免原料之浪费的成膜装置及成膜方法，能利用气体之气流控制成膜条件，以输送气体之气流将蒸发之成膜材料送至基板表面，可于大面积之基板上层积均匀的薄膜。亦即，将气化原料定方向为朝向基板，以提高成膜速度，可均匀地成膜。