| 发明名称 |
研浆组成物及使用此研浆组成物的金属镶嵌结构的制造方法 |
| 摘要 |
一种研浆组成物，其组成总量为100%，且包括研磨粒、酸硷调整剂、氧化剂及水。研磨粒的含量为10重量%至40重量%，且研磨粒的粒径多分布指数为大于1.8。酸硷调整剂的含量为0.01重量%至10重量%。氧化剂的含量为0.01重量%至10重量%。其中，组成前述研浆组成物的剩余部份为水。 |
| 申请公布号 |
TWI371481 |
申请公布日期 |
2012.09.01 |
| 申请号 |
TW098111076 |
申请日期 |
2009.04.02 |
| 申请人 |
盟智科技股份有限公司 桃园县中坜市东园路33号 |
发明人 |
张松源;蔡文财;陆明辉;申博元 |
| 分类号 |
C09K3/14;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
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| 地址 |
桃园县中坜市东园路33号 |
