发明名称 |
一种底栅薄膜晶体管 |
摘要 |
本实用新型提供一种底栅薄膜晶体管,其有源层由多晶硅薄膜构成,该多晶硅薄膜生长在栅极上,该栅极具有V字型凹槽或V字型凸起,且栅极表面覆盖有栅极绝缘层,其特征在于,部分多晶硅薄膜被掺杂,部分多晶硅薄膜未掺杂,其中掺杂的部分形成搭桥晶粒线以及源区和漏区。 |
申请公布号 |
CN202405263U |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
申请号 |
CN201120577248.6 |
申请日期 |
2011.12.31 |
申请人 |
广东中显科技有限公司 |
发明人 |
黄宇华;史亮亮;赵淑云 |
分类号 |
H01L29/10(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 |
代理人 |
苗青盛;王凤华 |
主权项 |
一种底栅薄膜晶体管,其有源层由多晶硅薄膜构成,该多晶硅薄膜生长在栅极上,该栅极具有V字型凹槽或V字型凸起,且栅极表面覆盖有栅极绝缘层,其特征在于,部分多晶硅薄膜被掺杂,部分多晶硅薄膜未掺杂,其中掺杂的部分形成搭桥晶粒线以及源区和漏区。 |
地址 |
528225 广东省佛山市南海区狮山工业园北园中路11号 |