发明名称 一种底栅薄膜晶体管
摘要 本实用新型提供一种底栅薄膜晶体管,其有源层由多晶硅薄膜构成,该多晶硅薄膜生长在栅极上,该栅极具有V字型凹槽或V字型凸起,且栅极表面覆盖有栅极绝缘层,其特征在于,部分多晶硅薄膜被掺杂,部分多晶硅薄膜未掺杂,其中掺杂的部分形成搭桥晶粒线以及源区和漏区。
申请公布号 CN202405263U 申请公布日期 2012.08.29
申请号 CN201120577248.6 申请日期 2011.12.31
申请人 广东中显科技有限公司 发明人 黄宇华;史亮亮;赵淑云
分类号 H01L29/10(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/10(2006.01)I
代理机构 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 代理人 苗青盛;王凤华
主权项 一种底栅薄膜晶体管,其有源层由多晶硅薄膜构成,该多晶硅薄膜生长在栅极上,该栅极具有V字型凹槽或V字型凸起,且栅极表面覆盖有栅极绝缘层,其特征在于,部分多晶硅薄膜被掺杂,部分多晶硅薄膜未掺杂,其中掺杂的部分形成搭桥晶粒线以及源区和漏区。
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