固态图像拾取设备

摘要

本发明提供了具有改善的颜色分离特性的背面照射型固态图像拾取设备。光检测器包括第一光检测器单元和布置为相对于半导体衬底的背面比第一光检测器单元更深的第二光检测器单元，其中第一光检测器单元包括第一导电类型的第一半导体区，在所述第一半导体区中通过光电转换产生的载流子作为信号载流子被收集。读出部包括第一导电类型的第二半导体区，所述第二半导体区在深度方向上延伸使得在第一半导体区处收集的载流子被读出到半导体衬底的正面。设置了降低入射在第二半导体区上的光的量的单元。

主权项

一种背面照射型固态图像拾取设备，包括：包括多个像素的半导体衬底，每个像素包括光检测器和读出部；导线，布置在所述半导体衬底的第一主表面上；以及光量降低部，其中光从所述半导体衬底的与第一主表面相对的第二主表面进入所述光检测器，其中所述光检测器包括第一光检测器单元和布置为相对于第二主表面比第一光检测器单元更深的第二光检测器单元，其中第一光检测器单元包括第一导电类型的第一半导体区，在所述第一半导体区中通过光电转换产生的载流子作为信号载流子被收集，其中所述读出部包括第一导电类型的第二半导体区，所述第二半导体区在所述半导体衬底的深度方向上延伸使得在第一半导体区处收集的载流子被读出到第一主表面，其中所述光量降低部被配置为降低入射在第一导电类型的第二半导体区上的光的量，以及其中所述光量降低部对于入射在第二半导体区上的光的光量降低比大于所述光量降低部对于入射在第一半导体区上的光的光量降低比。