形状测定装置以及方法

摘要

本发明提供一种形状测定装置以及方法，使从光源(90)射出的光成为平行光，将该平行光分支为两束，分支后的光中的一束通过圆锥透镜(104)，变为在规定距离上在光轴上的能量密度达到极大的光(光束)，并使其照射于被测定物(105)的表面，分支后的光中的另一束照射于参照镜(107)，通过对照射于被测定物的表面的光(光束)的后方散射光与来自参照镜的反射光的干涉光进行检测，测定被测定物的形状。

主权项

一种形状测定装置，包括：光源，其射出平行光；光束分裂器，其使所述光源射出的平行光分支为两束光；圆锥透镜，其使被所述光束分裂器分支后的所述两束光中的一束光透过，将该透过的光变为在满足下述数式的距离ρ上光轴上的能量密度达到极大的光，使其照射于被测定物的表面，并且，使来自所述被测定物的所述表面的反射光或后方散射光透过，所述数式为ρ＜D/{2tan(β/2)}其中，β/2＝sin‑1{nsin(π/2‑α/2)}‑π/2+α/2D：所述圆锥透镜的有效直径α：所述圆锥透镜的圆锥形状的顶角ρ：从所述圆锥透镜的顶点到所述被测定物为止的沿着所述光的光轴的距离n：所述圆锥透镜的折射率；参照镜，其反射被所述光束分裂器分支后的所述两束光中的另一束光；检测器，其对照射于所述被测定物的所述表面且透过所述圆锥透镜的所述反射光或后方散射光与来自所述参照镜的反射光的干涉光进行检测；形状测定部，其基于所述检测器检测出的所述干涉光，测定所述被测定物的所述表面的形状；以及多个调光板，其配置于所述光束分裂器和所述圆锥透镜之间，具有遮蔽部和配置于所述遮蔽部外周的环状透过部，所述多个调光板的所述遮蔽部遮蔽与所述圆锥透镜的顶部相对应的区域，所述多个调光板的所述透过部的位置分别配置在互不相同的位置，所述形状测定部选择性使用所述多个调光板，通过对多个所述被测定物的表面分别选择性照射来自所述圆锥透镜的所述光而进行所述形状测定。