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发明名称 Apparatus and method for forming thin film
摘要
申请公布号 EP1111087(B2) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 EP19990125815 申请日期 1999.12.23
申请人 SHINCRON CO., LTD. 发明人 MATSUMOTO, SHIGEHARU;KIKUCHI, KAZUO;SONG, YIZHOU;SAKURAI, TAKESHI;SAISHO, SHINICHIRO
分类号 C23C14/56;G02B1/10;C23C14/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/50;C23C28/04 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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