集成麦克风

摘要

一种用于形成具有可变电容的麦克风的方法，其首先在管芯上沉积高温沉积材料。该高温材料最后形成贡献出所述可变电容的结构。所述方法在沉积所述沉积材料后在管芯上形成电路。所述电路被配置以检测可变电容。

主权项

一种用于形成具有可变电容的麦克风的方法，所述方法包括：在管芯上沉积高温沉积材料，该高温沉积材料最后形成贡献出所述可变电容的结构；以及在沉积所述沉积材料后在所述管芯上形成电路，所述电路被配置以检测可变电容。