涂敷装置以及涂敷方法

摘要

一种涂敷装置，具有：涂敷头，其向基板(9)连续喷出有机EL液；头移动机构及基板移动机构，其让涂敷头相对于基板(9)在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述这些机构。在涂敷装置中，由控制部控制各机构，在基板(9)上的涂敷区域(91)涂敷有机EL液的同时，在副扫描方向上与涂敷头相对移动的基板(9)上的终端侧，在涂敷区域(91)外侧的非涂敷区域(92)涂敷有机EL，液。由此，可以在基板(9)的涂敷区域(91)中的有机EL液的涂敷的终端侧，对环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度变高，有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其他区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。

主权项

一种涂敷装置，其在基板上涂敷流动性材料，其特征在于，具有：基板保持部，其保持基板；喷出机构，其向上述基板连续地喷出第一流动性材料以及含有上述第一流动性材料的溶媒的第二流动性材料；移动机构，其使上述喷出机构相对于上述基板主面在与该主面平行的主扫描方向上进行相对移动，同时在每次向上述主扫描方向移动时，使上述喷出机构在垂直于上述主扫描方向的副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述喷出机构以及上述移动机构，从而在上述基板上的涂敷区域涂敷上述第一流动性材料，然后，在上述喷出机构涂敷上述第一流动性材料的上述副扫描方向上的上述基板上的终端侧，在与上述涂敷区域相邻的非涂敷区域涂敷上述第二流动性材料。