| 发明名称 |
TUNABLE BULK ACOUSTIC WAVE MEMS MICRORESONATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1474866(B1) |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
| 申请号 |
EP20030739523 |
申请日期 |
2003.02.11 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
ROBERT, PHILIPPE |
| 分类号 |
B81B3/00;H03H9/17;H03H9/24 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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