| 发明名称 |
Substratträgervorrichtung für eine Beschichtungskammer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69619074(D1) |
申请公布日期 |
2002.03.21 |
| 申请号 |
DE19966019074 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
TEPMAN, AVI;DAVENPORT, ROBERT E. |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/683;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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