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发明名称 Radiation Sensitive Resin Composition for Forming an Interlayer Insulating Film, and the Interlayer Insulating Film
摘要
申请公布号 KR101177128(B1) 申请公布日期 2012.08.24
申请号 KR20050088732 申请日期 2005.09.23
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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