IC布局的电性能计算

摘要

一种用于计算将在集成电路上创建的功能部件的电性能的系统。使用一种或多种解析度增强技术而针对光刻失真或者其他工艺失真对预期布局设计的全部或部分进行修正。修正布局的仿真布局图像被用作场解算器程序的输入，该场解算器程序就像功能部件将被形成在晶片上那样来计算所述功能部件的电性能。

主权项

一种用于计算集成电路布局设计中的功能部件的电性能的方法，包括：接收目标布局设计，所述目标布局设计定义将在集成电路或其一部分中创建的功能部件；产生所述目标布局设计的至少一部分的修正布局，所述修正布局包括针对光刻工艺失真而利用一种或多种解析度增强技术对其进行了补偿的一个或多个功能部件；通过对如何在晶片上形成所述修正布局中的所述功能部件进行仿真来产生仿真修正布局图像；以及根据所述仿真修正布局图像并且使用场解算器产生所述修正布局的所述功能部件的所述电性能的表示。