| 发明名称 | 具有备用三氟化氮的基于氟的反应室清洁 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于清洁反应室的方法，该方法包括如下步骤：(a)提供将材料沉积到靶基底上的反应室；(b)在所述反应室内部将所述材料沉积到靶基底上；(c)周期性地中断沉积，并使所述反应室内部与氟和氮的混合物接触以清洁所述反应室内部；以及(d)当氟和氮的混合物不可得时，进行切换使得所述反应室内部与三氟化氮接触。本发明还公开了一种设备。 | ||
| 申请公布号 | CN102644061A | 申请公布日期 | 2012.08.22 |
| 申请号 | CN201210039182.4 | 申请日期 | 2012.02.17 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | R·W·卡特三世;A·D·约翰森;J·C·罗斯曼 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 吴亦华 |
| 主权项 | 一种清洁反应室的方法，该方法包括如下步骤：(a)提供将材料沉积到靶基底上的反应室；(b)在所述反应室内部将所述材料沉积到靶基底上；(c)周期性中断所述沉积；(d)使所述反应室内部与氟和氮的混合物接触以清洁所述反应室内部，优选所述氟和氮的混合物的75体积％为氟；以及(e)当氟和氮的混合物不可得时，进行切换以使得所述反应室内部与三氟化氮接触，优选所述三氟化氮为100％的三氟化氮。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||