| 发明名称 | 紫外-红外双波段探测器及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种紫外-红外双波段探测器及其制作方法，其中紫外-红外双波段探测器，包括：一紫外波段探测器；一红外波段探测器，该红外波段探测器通过金属键合工艺与紫外波段探测器倒装互连在一起，该紫外波段探测器与红外波段探测器的一侧对齐。本发明提供的紫外-红外双波段探测器及其制作方法，可以实现紫外和红外双波段同时探测，目标信息更加丰富，提高了器件的实用性。同时，材料生长及器件制作工艺简单，有利于器件的焦平面化。 | ||
| 申请公布号 | CN101894831B | 申请公布日期 | 2012.08.22 |
| 申请号 | CN200910084157.6 | 申请日期 | 2009.05.20 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 颜廷静;种明;苏艳梅;林孟喆;王晓勇 |
| 分类号 | H01L25/04(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L25/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 一种紫外‑红外双波段探测器，包括：一紫外波段探测器；一红外波段探测器，该红外波段探测器通过金属键合工艺与紫外波段探测器倒装互连在一起，该紫外波段探测器与红外波段探测器的一侧对齐。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||