发明名称 |
载板回传系统用自动清洁装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种载板回传系统用自动清洁装置,包括设置在载板回传系统一端固定件上的支架,所述支架上设置有起清理作用的毛刷,该毛刷的前端与载板回传系统上的传送带接触。本实用新型的刷毛利用载板回传系统的转动,刷掉传送带上的氮化硅颗粒;压缩空气管用来吹扫毛刷剔除不掉的氮化硅颗粒。本实用新型能够实现现有设备不具备的自我清洁功能,能够确保载板回传系统清洁,方便了氮化硅颗粒的收集处理,保证了车间的洁净度,确保了工艺的稳定持久,同时延长了载板的清洗时间,保证了生产的效率,减少了清洁成本,增加了利润,实现了本设计的目的。 |
申请公布号 |
CN202395016U |
申请公布日期 |
2012.08.22 |
申请号 |
CN201120553860.X |
申请日期 |
2011.12.26 |
申请人 |
上海莹利光电科技有限公司 |
发明人 |
王利 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海精晟知识产权代理有限公司 31253 |
代理人 |
马家骏 |
主权项 |
载板回传系统用自动清洁装置,其特征在于,包括设置在载板回传系统一端固定件上的支架,所述支架上设置有起清理作用的毛刷,该毛刷的前端与载板回传系统上的传送带接触。 |
地址 |
201502 上海市金山区枫泾镇建定路158号 |