一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件的制备方法

摘要

一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件的制备方法，它涉及湿度敏感传感器元件的制备方法。本发明是要解决现有的锂霞石湿度传感器响应慢、制备工艺难度大的技术问题。本发明的一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件由氧化铝陶瓷基体、涂覆在氧化铝陶瓷基体上的锂霞石涂层和焊接在氧化铝陶瓷基体上的电极组成，其中锂霞石涂层的厚度为0.001mm～0.1mm；制备方法：将锂霞石颗粒和锂霞石溶胶粘结剂研磨后得到的浆料涂覆在氧化铝陶瓷基体上，烧结后再经老化，得到厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件。该元件化学性质稳定，响应时间短，制备工艺简单，可应用于高温恶劣坏境中的湿度检测。

主权项

一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件的制备方法，其特征在于厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件的制备方法按以下步骤进行：一、制备锂霞石溶胶粘结剂；二、按锂霞石颗粒与步骤一制备的锂霞石溶胶粘结剂的质量比为1～20∶1称取锂霞石颗粒和步骤一制备的锂霞石溶胶粘结剂并加入到研钵研磨5min～60min，得到锂霞石浆料；三、将电极焊在氧化铝陶瓷基体上；四、将步骤二得到的锂霞石浆料涂覆在焊好电极的氧化铝陶瓷基体上，涂覆层的厚度为0.001mm～0.1mm，先在室温下静置10h～30h，然后放入温度为550℃～1200℃的热处理炉中焙烧0.5h～6h，得到半成品元件；五、将步骤四得到的半成品元件放在湿度为10％～100％的环境中，在老化电压3V～20V，老化频率10Hz～3000Hz的条件下老化5～100天，得到厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件。