发明名称 | 功能性纳米微粒 | ||
摘要 | 可使用至少一个纳米平版印刷步骤来形成功能性纳米微粒。在一个实施例中,可使用压印平版印刷系统在多层衬底上对牺牲材料进行布图。图案可进一步被蚀刻在多层衬底之内。然后可将功能性材料沉积到多层衬底上并使之凝固。至少一部分功能性材料随后被去除以提供使柱露出的树冠表面。可将柱从多层衬底去除,从而形成功能性纳米微粒。 | ||
申请公布号 | CN102648438A | 申请公布日期 | 2012.08.22 |
申请号 | CN201080039342.4 | 申请日期 | 2010.08.11 |
申请人 | 分子制模股份有限公司;得克萨斯州大学系统董事会 | 发明人 | S·V·斯里尼瓦桑;S·杨;F·Y·徐;V·辛格 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 钱慰民 |
主权项 | 一种压印平版印刷方法,包括:形成多层衬底,所述多层衬底包括:耦合的可去除层以及耦合于所述可去除层的牺牲材料层;使用第一压印平版印刷模板对所述牺牲层进行布图,以提供经布图的层,所述经布图的层具有残留层和多个凸起和多个凹槽的图案;将所述凸起和凹槽的图案转移到所述可去除层中;将功能性材料沉积到所述可去除层的凹槽中;对所述功能性材料进行布图以提供经布图的功能性材料层,所述经布图的功能性材料层具有在所述可去除层中的多个柱;以及从所述多层衬底脱去柱。 | ||
地址 | 美国得克萨斯州 |